lynceetec数字全息显微镜DHM是Lyncee Tec公司的专利技术。其工作原理为：全息图由参考光束和经被测物体表面反射的物光光束相互干涉形成，携带有被观测物体的波前信息，由CCD捕捉，再通过计算机对所记录的全息图进行数值重建来得到被测物体的相位和振幅(光强)信息，进完成被测物体的数值三维重建。
DHM® 纵向分辨率达到了亚纳米，横向分辨率则由所选物镜决定。其独特非扫描三维成像机制克服了传统限制，可高速测量动态三维形貌（1000fps），动态响应。
典型用户
北京大学——应变鼓膜测量纳米薄膜的动态力学性能；
清华大学——微纳制造与测试,微小光学元件检测,微电子制造；华中科技大学，天津大学（精密测量）、东南大学（MEMS）、浙江师范大学、苏州大学、南京航空航天大学等。更多应用请咨询payne@rayscience.com
超高速记录动态三维形貌
DHM® 采用非扫描机制，采集单帧图像 既能记录样品表面三维形貌，因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度，可以达到1000帧/秒，使得以下应用变为可能：
• 研究可形变样品三维动态响应
• 表面大区域扫描分析
• 生产线在线三维形貌捕捉
MEMS形貌与运动参数（可达25 MHz）
频闪模块(可选配件)可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号，获取振动周期内的全视场振动模态。 这些特有的分析数据可提供以下信息：
• 三维形貌时序图
• 频率共振分析和响应分析
• 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm，面外振幅测量精度5pm)
• 复杂运动表征，振动模态表征，样品动态三维形貌
