制药工业应用
1.1在HVAC系统中应用：可根据洁净室的体积，选用适当的臭氧发生器，将臭氧发生器外置在机房里,通过连接管接入HVAC系统的送、回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90%新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1h进行空气灭菌，可替代化学药剂熏蒸及设备表面灭菌需开机2-2.5h。
1.2也可在洁净区内任何一个具有送回风口洁净室内单机使用，作局部灭菌。
1.3对输液、输料管道、过滤系统、物料贮罐、反应罐等密闭容器消毒灭菌，可选用专用臭氧发生器将自备无油气泵制取百级净化压力空气输入臭氧发生室内，生产出300μg/L以上浓度的臭氧化气体，导入需灭菌的设备或系统中。
1.4对工艺用水、纯化水、纯化水管道、生产用水进行灭菌；可应臭氧发生器做终端灭菌。
1.5在密闭容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻动或搅拌作用对粉体原料与部分中药原料进行灭菌，解决了多年对粉体类或部分中药原料难以灭菌的问题。
符合GMP验证要求。
污水处理
污水处理包括城市生活污水、工业污水和医疗污水的处理：臭氧在水中对细菌、病毒等微生物杀灭率高、速度快、对有机化合物等污染物质去除彻底而不产生二次 污染，并能降低生物需氧量（BOD）和化学需氧量（COD），去除亚硝酸盐、悬浮固体及脱色去味，以达到排放标准。
采用臭氧消毒的污水，预处理是十分重要的，往往由于预处理程度不够而影响臭氧消毒的效果，污水处理程度要经过技术经济比较确定。污水消毒最好是经过二级处理后再用臭氧消毒。这样可以减少臭氧的投加量，降低设备投资费用和运行费用。
化学氧化与合成
臭氧作为氧化剂、催化剂和精制剂应用于化工、石油、造纸、纺织和制药香料工业。臭氧的强氧化能力很容易打断烯烃、炔烃类有机物的碳链结合键，使其部分氧化后组合成新的化合物。
饮用水深度处理
深度处理技术常用的是臭氧—活性碳（O3-BAC）。臭氧深度处理工艺的原理，就是利用臭氧的强氧化能力，对水中溶解性有机物，卤代甲烷前驱物，以及产生异味物质(水中土霉味物质、2-MIB等)的氧化去除，微生物的消毒杀菌等的深度净化处理
臭氧化-两级活性炭工艺是采用臭氧氧化、吸附活性炭、生物活性炭滤池联用的方法，将臭氧化学氧化、活性炭物理化学吸附、生物氧化降解几种技术合为一体， 其主要目的是去除原水中微量有机物和氨氮，提高饮用水的安全性。在生物活性炭吸附前进行臭氧预氧化，可以初步氧化水中的有机物及其他还原性物质，以降低生物活性炭滤池的有机负荷；臭氧预氧化可以使部分难生物降解有机物变为易生物降解物质，可使水中的大分子转化为小分子，改变其分子结构形 态，提供了有机物进入较小孔隙的可能性，从而达到水质深度净化的目的。臭氧预氧化同时提高了生物活性炭滤池进水的可生化性，从而有利于硝化细菌的增值，利用生物氧化的方式进一步去除有机物和氨氮，节约运行成本。
采用深度处理工艺后的出厂水，其浊度、耗氧量、色度等水质指标均可达到目前国际发达城市的水质标准。
废气处理
利用高浓度臭氧裂解恶臭气体物质分子键，恶臭气体物质如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、 VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子键，使呈游离状态的污染物原子与臭氧氧化聚合成小分子无害或低害物质，如CO2、H2O等，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
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